納米位移臺的應(yīng)用領(lǐng)域有哪些？
納米位移臺的應(yīng)用領(lǐng)域有哪些？卓聚科技小編為大家介紹一下納米位移臺的應(yīng)用有哪些和組成。
納米位移臺的特點(diǎn)是納米級高分辨率及精度、毫秒至亞毫秒級快響應(yīng)速度、簡便的控制方式、低成本等，因此具有非常廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域，如顯微成像、激光加工（晶圓切割）、微納車削加工、圖像分辨率增強(qiáng)、光學(xué)檢測移相器等快速微納致動應(yīng)用。
納米位移系統(tǒng)通常由三部分組成：位移臺、驅(qū)動電機(jī)、控制器。驅(qū)動電機(jī)及控制器主要決定驅(qū)動扭矩、加減速度、信號處理、使用功能( 如掃描、圓弧插補(bǔ)) 等性能參數(shù)，隨著電機(jī)控制技術(shù)的提升，除了電移臺機(jī)械部件以外，電機(jī)和控制器也從很大程度上影響電移臺的振動、噪音及電移臺的定位精度。而位移臺作為整個位移系統(tǒng)的核心，系統(tǒng)的主要技術(shù)指標(biāo)如：位移精度、行程、直線度、負(fù)載、穩(wěn)定性、適應(yīng)環(huán)境、外形尺寸等均由其決定。
由于電移臺系統(tǒng)相對比較復(fù)雜，往往涉及到機(jī)械設(shè)計(jì)、電子技術(shù)、控制水平、加工能力、裝配工藝等各個方面，所以電移臺產(chǎn)品雖然被廣泛應(yīng)用，但是目前電移臺的各項(xiàng)指標(biāo)在國內(nèi)也被深度混淆和誤解，其中重要也是容易混淆的技術(shù)指標(biāo)就是電移臺的精度。
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