壓電直線納米位移臺(tái)
壓電直線納米位移臺(tái)
直線運(yùn)動(dòng)納米壓電馬達(dá)位移平臺(tái)提供行程從±7.5mm到±92mm的不同規(guī)格的標(biāo)準(zhǔn)化產(chǎn)品，運(yùn)動(dòng)分辨率可達(dá)0.05nm。提供開環(huán)和閉環(huán)控制版本、大氣和真空兼容版本。
產(chǎn)品選型：
| MF系列 | ML系列 | Z軸系列 |
| MF30-20A | ML-15 A | Z軸掃描臺(tái) |
| MF30-30A | ML-23A | |
| NF30-40A | ML-37A | |
| ML-92A |
以上就是東莞市卓聚科技有限公司提供的壓電直線納米位移臺(tái)的介紹，
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