SEM納米探針臺
SEM納米探針臺實現(xiàn)了三維空間上的精確定位，它具有分辨率高，尺寸緊湊，行程大，操作簡單，能在真空下使用等優(yōu)點，可應用于在SEM真空腔體內(nèi)完成各種納米精度運動操作。
壓電納米位移臺
壓電陶瓷電機是最近20年發(fā)展起來的新技術。使用壓電陶瓷電機的定位產(chǎn)品，結構簡單，尺寸緊湊，可以在數(shù)十毫米范圍內(nèi)實現(xiàn)納米級別的最小步長，從而解決了傳統(tǒng)納米臺行程不足，而微米電動臺分辨精度不高的問題。
卓聚科技率先在國內(nèi)研發(fā)出能產(chǎn)品化的壓電陶瓷電機線性位移平臺和旋轉臺等超精密位移產(chǎn)品，性能指標達到國際先進水平，填補了此領域的國產(chǎn)產(chǎn)品空白。可廣泛應用于半導體芯片、光通訊、生物醫(yī)療、電子顯微、先進制造、科學研究等領域。
