
納米位移臺(tái)使用過程中要注意防靜電嗎?
在使用納米位移臺(tái)的過程中須注意防靜電,特別是在高精度應(yīng)用場景中,靜電可能對(duì)平臺(tái)本身、傳感器、電子控制系統(tǒng),甚至樣品造成嚴(yán)重影響。以下是詳細(xì)說明:
為什么納米位移臺(tái)要防靜電?
靜電放電可能損壞內(nèi)部電子器件
納米位移臺(tái)通常內(nèi)置高靈敏度的位置傳感器(如電容式、干涉儀)和控制電路,靜電放電(ESD)可能直接燒毀這些元件,導(dǎo)致控制失效或讀數(shù)錯(cuò)誤。
干擾控制信號(hào),導(dǎo)致運(yùn)動(dòng)不穩(wěn)定或誤動(dòng)作
即使不造成硬件損壞,靜電也可能引入電噪聲,影響閉環(huán)控制系統(tǒng),表現(xiàn)為運(yùn)動(dòng)抖動(dòng)、回跳、響應(yīng)異常等問題。
樣品或?qū)嶒?yàn)平臺(tái)可能因靜電積聚發(fā)生偏移或吸附
特別是在掃描電鏡(SEM)、原子力顯微鏡(AFM)等實(shí)驗(yàn)中,靜電對(duì)樣品狀態(tài)穩(wěn)定性影響很大。
壓電驅(qū)動(dòng)器對(duì)電壓敏感,易被靜電觸發(fā)或擊穿
如果你使用的是壓電驅(qū)動(dòng)型納米平臺(tái),靜電很容易引起“假動(dòng)作”或元件擊穿。
應(yīng)如何防止靜電干擾?
1. 佩戴防靜電手環(huán)或腳環(huán)
在操作平臺(tái)(接觸接頭、電纜、控制器)之前佩戴并可靠接地。
2. 使用防靜電臺(tái)墊、防靜電桌面
操作區(qū)域使用接地良好的防靜電臺(tái)墊,并接入接地系統(tǒng)。
3. 環(huán)境濕度控制
保持實(shí)驗(yàn)室相對(duì)濕度在 40%~60%,濕度過低容易產(chǎn)生靜電。
4. 樣品及夾具噴金或加導(dǎo)電涂層
對(duì)于非導(dǎo)電樣品,建議進(jìn)行噴鍍處理或貼導(dǎo)電膠帶,減少表面帶電。
5. 設(shè)備和電纜接地良好
確認(rèn)位移臺(tái)、電源控制器、信號(hào)線屏蔽層等都已正確接地,避免懸浮電位。
6. 避免帶電插拔
插拔信號(hào)線、電源線或控制端口前,請(qǐng)先關(guān)閉電源并確保操作人員無靜電。