什么是納米位移臺？納米位移臺的工作原理是什么？
卓聚科技小編為您介紹一下什么是納米位移臺以及納米位移臺的工作原理是什么。
納米位移臺由壓電陶瓷驅(qū)動器、柔性鉸鏈機(jī)械系統(tǒng)、傳感器、控制器、軟件及標(biāo)定系統(tǒng)組成，是儀器和設(shè)備領(lǐng)域的共性關(guān)鍵器件。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備、顯微成像、納米技術(shù)、激光與光學(xué)、航天航空、生物醫(yī)學(xué)、航天航空、國防軍工等領(lǐng)域。
納米位移臺的工作原理
納米位移臺主要采用運動控制技術(shù)，由光、機(jī)、電、控制軟件等多領(lǐng)域技術(shù)集成的運動控制技術(shù)。
內(nèi)部由一個或多個壓電陶瓷作為驅(qū)動，其產(chǎn)生單軸或者多軸的運動；通過柔性鉸鏈技術(shù)將壓電陶瓷產(chǎn)生的運動傳遞和放大；經(jīng)電容傳感器將運動信息傳遞給控制系統(tǒng)，再由控制系統(tǒng)對該運動進(jìn)行修正、補(bǔ)償和控制；在對運動系統(tǒng)進(jìn)行閉環(huán)控制時，可實現(xiàn)納米、亞納米級別的運動分辨率和運動控制精度。
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