
納米位移臺使用過程中要注意防靜電嗎?
在使用納米位移臺的過程中須注意防靜電,特別是在高精度應用場景中,靜電可能對平臺本身、傳感器、電子控制系統(tǒng),甚至樣品造成嚴重影響。以下是詳細說明:
為什么納米位移臺要防靜電?
靜電放電可能損壞內部電子器件
納米位移臺通常內置高靈敏度的位置傳感器(如電容式、干涉儀)和控制電路,靜電放電(ESD)可能直接燒毀這些元件,導致控制失效或讀數(shù)錯誤。
干擾控制信號,導致運動不穩(wěn)定或誤動作
即使不造成硬件損壞,靜電也可能引入電噪聲,影響閉環(huán)控制系統(tǒng),表現(xiàn)為運動抖動、回跳、響應異常等問題。
樣品或實驗平臺可能因靜電積聚發(fā)生偏移或吸附
特別是在掃描電鏡(SEM)、原子力顯微鏡(AFM)等實驗中,靜電對樣品狀態(tài)穩(wěn)定性影響很大。
壓電驅動器對電壓敏感,易被靜電觸發(fā)或擊穿
如果你使用的是壓電驅動型納米平臺,靜電很容易引起“假動作”或元件擊穿。
應如何防止靜電干擾?
1. 佩戴防靜電手環(huán)或腳環(huán)
在操作平臺(接觸接頭、電纜、控制器)之前佩戴并可靠接地。
2. 使用防靜電臺墊、防靜電桌面
操作區(qū)域使用接地良好的防靜電臺墊,并接入接地系統(tǒng)。
3. 環(huán)境濕度控制
保持實驗室相對濕度在 40%~60%,濕度過低容易產生靜電。
4. 樣品及夾具噴金或加導電涂層
對于非導電樣品,建議進行噴鍍處理或貼導電膠帶,減少表面帶電。
5. 設備和電纜接地良好
確認位移臺、電源控制器、信號線屏蔽層等都已正確接地,避免懸浮電位。
6. 避免帶電插拔
插拔信號線、電源線或控制端口前,請先關閉電源并確保操作人員無靜電。