壓電納米位移臺(tái)

壓電納米位移臺(tái)，納米壓電驅(qū)動(dòng)馬達(dá)，使用壓電陶瓷作為運(yùn)動(dòng)促動(dòng)元件 ，可以在數(shù)十毫米范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)納米級(jí)別的步長(zhǎng)，從而解決了傳統(tǒng) 納米臺(tái)行程不足，而微米電動(dòng)臺(tái)分辨率和精度不高的問(wèn)題。

卓聚科技研發(fā)團(tuán)隊(duì)自主研發(fā)的壓電驅(qū)動(dòng)馬達(dá)，具有運(yùn)動(dòng)無(wú)需潤(rùn)滑，真空兼容，可在從液氦溫區(qū)（-269攝氏度）至室溫的寬溫區(qū)內(nèi)工作等優(yōu)點(diǎn)。其運(yùn)動(dòng)分辨率達(dá)到納米級(jí)，具有步進(jìn)和掃描雙工作模式，在宏觀行程范圍內(nèi)達(dá)到亞納米分辨率的定位。其主要應(yīng)用領(lǐng)域有：基礎(chǔ)科研市場(chǎng)，半導(dǎo)體市場(chǎng)，先進(jìn)制造業(yè)，生物醫(yī)藥行業(yè)，光學(xué)、通信等行業(yè)。

根據(jù)納米位移臺(tái)的運(yùn)動(dòng)軌跡，我司的位移臺(tái)分成三大類(lèi)型，直線(xiàn)納米位移臺(tái)，旋轉(zhuǎn)納米位移臺(tái)，多軸納米位移臺(tái)。

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直線(xiàn)納米位移臺(tái)	旋轉(zhuǎn)納米位移臺(tái)	多軸納米位移臺(tái)

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