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化學氣相沉積系統(tǒng)
等離子體增強化學氣相沉積系統(tǒng)（PECVD）
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可實現(xiàn)低溫、無需催化劑、在多種襯底上（如金屬、氧化物、半導體表面）直接生長均勻的石墨烯納米晶薄膜、氮化硼等二維材料。
等離子體修飾系統(tǒng)
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基于氫等離子體的干法刻蝕技術可對石墨烯的面內各向異性刻蝕，形成特定的、原子級平整的邊界。
壓電納米位移臺
壓電直線納米位移臺
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直線運動納米壓電馬達位移平臺提供行程從±7.5mm到±92mm的不同規(guī)格的標準化產品，移動分辨率最小可達0.05nm。提供開環(huán)和閉環(huán)控制版本、大氣和真空兼容版本。
壓電旋轉納米位移臺
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可以360度旋轉平面，由高分辨率壓電馬達驅動。提供開環(huán)和閉環(huán)版本。
壓電多軸納米位移臺
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多個納米位移平臺組合而成的多軸運動和定位產品，包括2軸，3軸、4軸、5軸等，形式多樣，可根據(jù)需求定制。
SEM納米探針臺
線性壓電位移臺-長行程系列 XYMF-133-100A
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XYMF-133-100A平移臺實現(xiàn)了在XY二維空間上的準確定位，具有分辨率高，行程大（XY軸行程±50mm），帶有高精度及高分辨率的位置反饋。
線性壓電位移臺
線性壓電位移臺-超低溫系列 LT34-06B
線性壓電位移臺-MF系列 MF40-25A
掃描探針顯微鏡
掃描探針顯微鏡
掃描探針顯微鏡（Scanning Probe Microscope，SPM）是掃描隧道顯微鏡及在掃描隧道顯微鏡的基礎上發(fā)展起來的各種新型探針顯微鏡（原子力顯微鏡，靜電力顯微鏡，磁力顯微鏡，掃描離子電導顯微鏡，掃描電化學顯微鏡等）的統(tǒng)稱，是國際上近年發(fā)展起來的表面分析儀器，是綜合運用光電子技術、激光技術、微弱信號檢測技術、精密機械設計和加工、自動控制技術、數(shù)字信號處理技術、應用光學技術、計算機高速采集和控制及高分辨圖形處理技術等現(xiàn)代科技成果的光、機、電一體化的高科技產品。
低溫超高真空掃描隧道顯微鏡 （Ultrascan LT-100）
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卓聚創(chuàng)新研發(fā)的超高空低溫（4K）STM系統(tǒng)包含關鍵技術如壓電陶瓷步進馬達、低溫STM探頭、超真空液氦雙層杜瓦等，系統(tǒng)主要指標達到或超過了國際商業(yè)化系統(tǒng)的最好水平。
掃描探針顯微鏡控制器
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超高性價比的掃描探針控制器，主流的性能指標。包括掃描單元、進針單元、信號采集單元。支持STM模式和非接觸式AFM模式。
超高真空組件和配件
超高真空組件和配件
空間用高壓絕緣組件(簡稱高壓組件)是行波管放大器功率傳輸?shù)年P鍵部件。在我國空間行波管放大器國產化研制過程中,經統(tǒng)計故障有80%是在熱真空試驗中發(fā)生的,而熱真空試驗中的故障70%以上又是由高壓組件灌封氣泡缺陷造成的,高壓組件真空灌封技術已成為制約我國空間行波管放大器應用的瓶頸之一。為此,本文對高壓組件灌封缺陷形成機理、灌封工藝及裝備技術進行了系統(tǒng)的研究,解決了高壓組件灌封不實、灌封體內部存有死空間或裂縫等灌封缺陷問題,形成了自主的高壓組件真空灌封技術。
法蘭和穿通法蘭
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各種標準真空法蘭、觀察窗和真空電學、光學、水、氣穿通組件。
超高真空擺動機械手
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超真空擺動機械手采用磁力驅動，其末端裝有夾爪，可操作一系列不同的樣品托，例如旗形樣品托。夾爪可以通過按壓放在外部末端的磁體把手按鈕來實現(xiàn)夾嘴的開合，還可以為不同形狀樣品托提供各種適合的開合夾嘴。
超高真空磁力耦合傳樣桿
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超高真空磁力耦合傳樣桿（CF35），可線性運動和旋轉，主要功能是將樣品在真空環(huán)境下傳輸樣品或樣品拖等。磁力桿外部的釤鈷磁鐵和磁力桿內部的磁鐵耦合在一起進行傳輸，內部高精度軸承保證了傳樣桿即使經過多次加熱烘烤也能順暢地傳樣。
探針臺和低溫系統(tǒng)
探針臺和低溫系統(tǒng)
探針臺和低溫系統(tǒng)專注于為半導體領域、微納米科學領域提供綜合性解決方案，為全國各大高校、科研院所及企事業(yè)單位提供先進的半導體及微納米科學儀器，為祖國微納米科學事業(yè)的騰飛貢獻一份綿薄之力！
干式液氦低溫探針臺
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使用GM制冷機，操作方便，最低溫度8K。震動優(yōu)于1um。4到6個探針臂，可選直流或者射頻探針。
臺階儀
國產臺階儀JS100A
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JS100A是卓聚科技自主開發(fā)的全國產化臺階儀。具有高精度，高分解能，搭配一體花崗巖結構，提供 穩(wěn)定可靠的重復性測量。
二維材料轉移臺
二維材料轉移臺-2D material transfer table
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2DTrans-ams-03，全電動二維材料轉移臺，是專為解決手動轉移過程中由手的抖動帶來的這一不良結果，并充分還原手動轉移過程中的手感與操作方式，給予更好的精確度和掌控性。同時也是一款專為手套箱環(huán)境設計的二維材料轉移臺，用于解決水氧敏感材料的轉移痛點。并且還是一款 專為轉移“魔角”樣品而設計的二維材料轉移臺。
光柵尺
超高真空微型光柵尺-SMG26系列
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常見問題
應用案例
新材料領域
新材料領域
微米和亞微米光刻 (最小可達到0.6um線寬)，紫外光直寫曝光,無需掩模，大幅節(jié)約了掩模加工費用，靈活性高，可直接通過電腦設計光刻圖形，并可根據(jù)設計要求隨意調整?？缮夐_放性系統(tǒng)設計。按照客戶要求可從低端到高端自由配置使用維護簡單, 設備耗材價格低。應用范圍廣，目前廣泛應用于半導體、生物芯片、微機電系統(tǒng)、傳感器、微化學、光學等領域。
物理科學領域
物理科學領域
物理科學領域是掃描隧道顯微鏡及在掃描隧道顯微鏡的基礎上發(fā)展起來的各種新型探針顯微鏡（原子力顯微鏡，靜電力顯微鏡，磁力顯微鏡，掃描離子電導顯微鏡，掃描電化學顯微鏡等）的統(tǒng)稱，是國際上近年發(fā)展起來的表面分析儀器，是綜合運用光電子技術、激光技術、微弱信號檢測技術、精密機械設計和加工、自動控制技術、數(shù)字信號處理技術、應用光學技術、計算機高速采集和控制及高分辨圖形處理技術等現(xiàn)代科技成果的光、機、電一體化的高科技產品。
生命科學領域
生命科學領域
空間用高壓絕緣組件(簡稱高壓組件)是行波管放大器功率傳輸?shù)年P鍵部件。在我國空間行波管放大器國產化研制過程中,經統(tǒng)計故障有80%是在熱真空試驗中發(fā)生的,而熱真空試驗中的故障70%以上又是由高壓組件灌封氣泡缺陷造成的,高壓組件真空灌封技術已成為制約我國空間行波管放大器應用的瓶頸之一。為此,本文對高壓組件灌封缺陷形成機理、灌封工藝及裝備技術進行了系統(tǒng)的研究,解決了高壓組件灌封不實、灌封體內部存有死空間或裂縫等灌封缺陷問題,形成了自主的高壓組件真空灌封技術。
半導體和光電子工業(yè)
半導體和光電子工業(yè)
本實用新型涉及用于掃描探針顯微鏡的納米掃描臺，其包括安裝于矩形底板上的掃描臺支架，納米掃描臺內設有柔性鉸鏈；柔性鉸鏈為四棱短管狀，其每一側壁均為由內側壁和外側壁組成的夾層薄壁，每一側外側壁均通過細桿連接著內套筒外端，內套筒內側連接著壓電陶瓷管，壓電陶瓷管的另一端連接著外套筒內側，外套筒的外端連接著掃描臺支架，且四根壓電陶瓷管均布在掃描臺的兩個對角線方向的四個角處；柔性鉸鏈的軸向頂面連接著樣品臺。
自動化生產
自動化生產
微米和亞微米光刻 (最小可達到0.6um線寬)，紫外光直寫曝光,無需掩模，大幅節(jié)約了掩模加工費用，靈活性高，可直接通過電腦設計光刻圖形，并可根據(jù)設計要求隨意調整?？缮夐_放性系統(tǒng)設計。按照客戶要求可從低端到高端自由配置使用維護簡單, 設備耗材價格低。應用范圍廣，目前廣泛應用于半導體、生物芯片、微機電系統(tǒng)、傳感器、微化學、光學等領域。
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